[ 특징 ]
- 고기능/저가격/Compact Table Type
- 크기 300W x 390D x 280H (m/m)
- 액정 터치판넬에 의한 프로그램입력 간단조작
 
[ 사양 ]
  Chamber
  스텐레스제 chamber
  기판 사이즈   부정형 사이즈 ~ Φ6” 사이즈
  사용 약액   알칼리계 현상액
  기판 지퍼 방식   진공 흡착식
  현상 방식   패들 현상 또는 파이프 토출
  약액 압송   캐니스터캔사용에 의한 가압 압송 방식
  순수한 물(린스) 압송   캐니스터캔사용에 의한 가압 압송 방식  
  약액 토출   노즐 원점 위치에서 기판 센터 이동 후 노즐 고정해 약액 토출
  순서   액정 터치 패널에서 프로그램 입력
  처리 시간 설정     최소 1초
  기판 회전수   0~3000 rpm 임의 설정
  장치 표준 구성   본체부 : 1대
  테프론 흡착식 홀더 : 1개
  Mist Trap : 1개
  약액용·린스용 캐니스터캔 5 L : 2개
  Regulator,Gage,Air drain 포함(단,진공 펌프:Option)
  장치 크기/중량   300 W x390D x280H(커버 개폐시 600 H) , 약 25 Kg  
  본체 전원   AC100V5A (진공 펌프 AC100V5A)
  N2 또는 AIR   가압 탱크용 MAX0. 2 Mpa
 
 
 
 
Swing Nozzle식 Spray 현상,Paddle 현상 대응 가능

[ 특징 ]

- 고기능/저가격/Compact Table Type
- Work Size φ1” ~φ6 ”
- 액정 터치판넬에 의한 프로그램입력 간단조작
- 약액압송 펌프 2 계통 내장형
 
 
2Arm Swing Nozzle식 Spray 현상,Paddle 현상 대응 가능

[ 특징 ]

- 고기능/저가격/Compact Table Type
- Work Size 최대300mmφ(φ12 ” )
- 액정 터치판넬에 의한 프로그램입력 간단조작
 
 
 
 
Swing Nozzle 식의 Spray etching 장치

[ 특징 ]

- 고기능/저가격/Compact Table Type
- Work Size φ1”~ φ6”
- 액정 터치판넬에 의한 프로그램입력 간단조작
- 약액압송 펌프 2 계통 내장형
 
 
2Arm Swing Nozzle식 Spray Etching 장치

[ 특징 ]

- 고기능/저가격/Compact Table Type
- Work Size 최대300mmφ(φ12 ")
- 액정 터치판넬에 의한 프로그램입력 간단조작

* 자매품 : ED-3000T
  All Tepron제 Chamber (PTFE)Etching장치도 제작 가능