[ Feature ]
- Economical, Compact & Hi-Level Performance
- Viewing fused image of two alignment marks in the Field of View.
- Integrator lens for exposure.
- LED illuminator
 
 
[ Application ]
(Micro-machine development in R&D center  and university)
- Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
- Exposure for Flip Chip/BGA/CSP.
- Exposure for Optical/High Speed Communication Components.
 
 
 
 
- Resist Ink 정착용에 사용하는 UV 노광기
- 500W의 고출력에서 노광 가능
- 지정 조사(照射) Unit를 채용, Shutter Control 에 의해 정확한 조사
  (照射)시간 제어 가능
- Band Pass Filter,감광 Filter를 보다 편리하게 교환 가능하도록 간단
  하게 설계함
- 광원 유니트는 일본 Ushio사 제품 사용
 
  유효지름
  ф135mm
  조도   40mW/c㎡
  조사(照射) Mura   5% 이내
  시료대   100mm×100mm
  전원   AC 220V,50/60Hz
  소비전류   15A 이내
  크기,중량   350(W)×825(H)×575(D)mm,約50.0kg
  구 성   1. Multi Light 500W:ML-501C/B
  2. 조사 광학 Unit:PM50C-135A1
  3. Lamp 전원:HB-50110AA
  4. 시간 제어식 Shutter Controller : SK-10101BY-1
  5. 시료대
  6. Filter Unit
  부속품   감광 Filter
  I 선 Band Pass Filter
 
 
 
 
[ 특징 ]
- Hi-Power,Compact화를 실현한 독자적인 광학 설계.
- 고안정 · 장수명 · Ozoneless 램프의 사용.
- 용도에 대응한 조사 파장영역의 선택이 가능.
- 자동화 라인에 대응하는 풍부한 리모트 기능.
- 완벽한 노이즈 방지 대책.
- 90˚ 마다 조사 헤드가 가변 가능,목적,용도에 맞추어 조사 각도 변경
  가능.
- 램프 아크 모니터을 탑재, 램프 교환시 아주 간단히 광축의 조정이 가능
 
 
[ 용도 ]
UV 접착용도
- LCD GLASS 접합 봉지등
- CD,DVD Drive 픽업 렌즈 및 전자제품의 접착

포토 레지스트
- 각종 Micro device(수동진동자,transistor,lead frame)
- Silicon wafer용 노광 광원,각종 광학 실험용